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傳片功能支持EFEM+ROBOT
全自動(dòng)，CCD成像
全自動(dòng)走位+自動(dòng)對焦+CCD成像
數(shù)據(jù)可追溯
高精度，高穩(wěn)定性
可配置多工作站點(diǎn)，多機(jī)臺(tái)數(shù)據(jù)的匯總
實(shí)現(xiàn)缺陷的AOI檢測
加裝型宏觀AOI系統(tǒng)
OM-自動(dòng)顯微鏡系統(tǒng)
OCR-字符讀碼模塊
夾持PA-夾持晶圓預(yù)定位模塊
伯努利PA-伯努利晶圓預(yù)定位模塊
PA-晶圓預(yù)定位模塊
服務(wù)熱線
關(guān)于視拓
產(chǎn)品中心
新聞中心
