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加裝型宏觀AOI系統(tǒng)

1、加裝在Robot傳送晶圓的路徑中

2、傳送過程中晶圓宏觀AOI檢測

3、清洗、研磨等站點(diǎn)可大量使用

4、16K*16K分辨率，12寸晶圓單像素精度18.75um

5、 可檢測Scratch，劃痕、崩邊、缺角、破片、水痕、殘留等缺陷


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